高流量管路淨化設備

(Ultra Flow Package) UF-P是一套高流量管路淨化設備(Ultra Flow Package)，
通過在管路中注入指定溫度下N2，能稀釋揮發製程所産生的氣體濃度，並且防止 Powder 積累，
該系統可以預防 pump 故障率，及有效改善排氣管路 PM Time 與腐蝕問題與環安考量，進而提高設備嫁動率
UF-P 特殊N2注入方式，係依文丘里和白努利定律結合，已獲得專利。
與其他公司相較下，具有7~10倍更強的吸引力和廢氣排放牽引能力。
​​​​​​​在UF-P有效形成吸力下，可以降低 pump 高負荷與功耗情況，且降低 pump 排壓，以利延長使用條件。